极限压力: 0.05 - 20 hPa (mbar)
抽气速率 50 Hz: 3 - 1600 m³/h
抽气速率 60 Hz: 4.8 - 1800 m³/h
工作原理1
R5 采用旋片技术，功能强大且结构坚固。缸体内配备带三个叶片的转子，采用离心方式安装。由于离心力的作用，这些叶片会滑出，在自身与缸体之间形成腔室。
抽送介质被截留在三个腔室内。旋转过程中，腔室容积不断减小。因此，抽送介质经过压缩后被输送至出口。
R5 真空泵采用循环油润滑以持续运行。先进的下游油雾分离箱能有效地分离密封油和抽送介质，确保油液的有效循环利用。
在真空泵关闭后，止回阀可防止抽送介质回流至真空处理环节。